真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試試驗(yàn)

真空度降低的原因

(1)滅弧室內(nèi)部材料含氣釋放

(2)滅弧室漏氣：滅弧室密封質(zhì)量、機(jī)械沖擊

真空度檢測(cè)方法

(1)火花計(jì)法一準(zhǔn)確度低，人為、環(huán)境影響因素大；

(2)觀察法一準(zhǔn)確度低，人為、環(huán)境影響因素大；

(3)交流耐壓法一無(wú)法定量，不能作出預(yù)判斷；

(4)真空度測(cè)試儀法；

(5)真空度在線監(jiān)測(cè)：電光變換法、耦合電容法、壓力傳感法。

真空度測(cè)試儀基本原理

磁控放電法一高壓脈沖和磁場(chǎng)脈沖同時(shí)作用于真空滅弧室，使之內(nèi)部產(chǎn)生脈沖磁控放電現(xiàn)象，產(chǎn)生離子電流，測(cè)量離子電流并與已知的電流一真空度曲線比較，得出真空度。

試驗(yàn)方法的差別：

(1)離子電流取值方法一峰值方法、積分方法；

(2)磁場(chǎng)線圈形式一固定式、纏繞式、對(duì)折式；

(3)內(nèi)存曲線數(shù)量一粗分、細(xì)分。

測(cè)試精度問(wèn)題

日前測(cè)量范圍0-10-4Pa，可達(dá)到10級(jí)；

現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試注意事項(xiàng)：

(1)滅弧室表面應(yīng)擦拭干凈；

(2)磁場(chǎng)線圈盡量貼近滅弧室；

(3)連續(xù)重復(fù)測(cè)試同一滅弧室，數(shù)據(jù)可能不準(zhǔn)；

(4)測(cè)試完成后，儀器應(yīng)放電。

測(cè)試結(jié)果處理建議：

不能完全排除交流耐壓試驗(yàn)，應(yīng)結(jié)合使用；

測(cè)試結(jié)果10-4Pa數(shù)量級(jí)及以下，合格；

測(cè)試結(jié)果在10-3Pa數(shù)量級(jí)，加強(qiáng)監(jiān)測(cè)；

測(cè)試結(jié)果10-2Pa數(shù)量級(jí)及以上，建議更換。